離子滲氮旋片式真空泵（簡稱旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。

離子滲氮旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。
　　離子滲氮旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。 旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。

(1)旋片1處于垂直位置，并與轉(zhuǎn)子和定子問的固定切點4重合，吸氣過程尚未開始。
　　(2)旋片1從A點轉(zhuǎn)過一定角度，吸氣空間逐漸增大氣體便從被抽空問通過進(jìn)氣口進(jìn)入吸氣空間。
　　(3)旋片1到達(dá)水平位置，旋片2正好將進(jìn)氣口封死，氣體不再進(jìn)入吸氣空間，吸氣量達(dá)到最大。
　　(4)旋片繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，被封閉在旋片1、2之間的氣體受到壓縮，壓強(qiáng)不斷升高，當(dāng)壓強(qiáng)超過一定值時，氣體便推開排氣閥由排氣管排出。
　　(5)排氣結(jié)束，恢復(fù)到第一個過程里，只是I、2兩個旋片交換了一個位置。
  以后的排氣就按照上面的過程重復(fù)進(jìn)行。這樣每個旋片起了二個作用:使泵腔從進(jìn)氣口吸入氣體，壓縮已吸進(jìn)來的氣體，使其通討排氣閥排出去。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時，旋片1,2各吸入一次氣體和排出一次氣體，因此轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時，完成了兩次吸氣過程和兩次排氣過程。

青島豐東離子滲氮真空的獲取大多使用旋片泵，了解旋片泵的工作原理，有利于對設(shè)備的保養(yǎng)及維修。